為了顯示材料的真實(shí)顯微組織，準(zhǔn)確的觀(guān)察、辨別、記錄和測(cè)量，正確的試樣制備過(guò)程是必不可少的。試樣的制備質(zhì)量是決定檢測(cè)結(jié)果的關(guān)鍵因素，猶如那句經(jīng)典的計(jì)算機(jī)諺語(yǔ)所說(shuō)：“如果輸入的是垃圾，那么輸出的也是垃圾”。
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陶瓷材料
陶瓷材料特別硬和脆，可能含有孔洞，用金剛石切割片切割。如果試樣需要熱腐蝕，那么試樣鑲嵌時(shí)就要考慮樣品還要從樹(shù)脂中取出，此時(shí)環(huán)氧樹(shù)脂真空填充孔洞可以不考慮。由于陶瓷自身的特點(diǎn)，不需要考慮變形和塑性流變的問(wèn)題，但制備過(guò)程中可能會(huì)產(chǎn)生裂紋晶粒破裂的問(wèn)題。
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熱壓氮化硅組織 (不知名的黏結(jié)劑)?(未腐蝕，500X )
脫落是陶瓷制備的主要問(wèn)題，因?yàn)橥ǔ?huì)把脫落當(dāng)成孔洞。研磨方法采用金屬黏結(jié)金剛石盤(pán)，硬研磨盤(pán)或硬拋光布的機(jī)械制備方法。SiC砂紙對(duì)陶瓷材料幾乎無(wú)效，因?yàn)閮烧邘缀跻粯佑病Ｒ虼嗽谒械闹苽洳襟E中，幾乎全部使用金剛石。陶瓷材料制備時(shí)的載荷比較高，經(jīng)常超過(guò)手工制備的載荷。本篇文章中列出了兩種常用的陶瓷制備程序。
MasterPolish 2 懸浮液用于陶瓷制備步驟，獲得的表面光潔度要高于1μm的金剛石拋光
。
實(shí)用小貼士
使用切割片，在盡可能靠近需要制備、需要檢查的平面處進(jìn)行切割，這樣除了把可能的損傷量降低，還能為隨后制備提供很好的表面。粗磨相當(dāng)慢，應(yīng)盡量想辦法避免組織結(jié)構(gòu)的損傷。
制備時(shí)候可能需要粗的研磨劑。然而，粗的研磨劑可能導(dǎo)致嚴(yán)重的晶粒脫落，因此在研磨過(guò)程中，盡量使用細(xì)的研磨劑以減少晶粒脫落現(xiàn)象。
難熔材料組織：鋁(基體)，氧化鋯(灰色)，硅(白色) (未腐蝕，200x)
Si-SiC 陶瓷?百分之10草酸電解腐蝕(500X)
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